To achieve the tight degree of within-chip etch control needed for such precise patterning, the new system creates a dramatically cleaner chamber environment that significantly accelerates the removal of etch byproducts—a major cause of variation. Both larger chamber volume and higher gas flows minimize the amount of byproduct that redeposits on the wafer, where it can pinch off narrow spaces and create etch depth variations, cause unacceptable variations between densely packed and isolated features, or exacerbate line edge roughness. Preventing byproduct accumulation also reduces particle formation and resultant defect creation.
They are large (up to 3 cm), fast-flying bees, distinguished from the closely related genus Epicharis by the absence of long, whip-like setae that project backwards from just behind the eyes. They are commonly encountered bees in American deserts, and are active at very high ambient temperatures when many other species are in hiding. They can often be seen in large numbers on desert-willow (Chilopsis) and palo verde (Parkinsonia) blossoms. Bees of this genus are of some economical significance in pollinating crops such as Brazil Nut (Bertholletia excelsa) and Cashew (Anacardium occidentale, pollinated by C. tarsata among others).
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