As semiconductor scaling has continued, increasingly rigorous requirements for precision and uniformity in chip fabrication have propelled the first comprehensive redesign of the silicon etch chamber in over a decade. The resulting Applied Centris Sym3 system delivers world-class cross-wafer uniformity with unprecedented within-chip feature control in critical etch applications for high-volume manufacturing at the 1x/10nm node and beyond.
To achieve the tight degree of within-chip etch control needed for such precise patterning, the new system creates a dramatically cleaner chamber environment that significantly accelerates the removal of etch byproducts—a major cause of variation. Both larger chamber volume and higher gas flows minimize the amount of byproduct that redeposits on the wafer, where it can pinch off narrow spaces and create etch depth variations, cause unacceptable variations between densely packed and isolated features, or exacerbate line edge roughness. Preventing byproduct accumulation also reduces particle formation and resultant defect creation.
Saviez-vous que le réseau RE/MAX regroupe près de 20 % des courtiers immobiliers du Québec5 et qu'il est responsable de la vente de presque la moitié des propriétés inscrites dans la province 6 ? C'est certainement ce qui permet à RE/MAX d'être la seule bannière du secteur immobilier à figurer sur la liste des 30 entreprises les plus admirées des Québécois, selon Léger Marketing et le journal Les Affaires.
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