To achieve the tight degree of within-chip etch control needed for such precise patterning, the new system creates a dramatically cleaner chamber environment that significantly accelerates the removal of etch byproducts—a major cause of variation. Both larger chamber volume and higher gas flows minimize the amount of byproduct that redeposits on the wafer, where it can pinch off narrow spaces and create etch depth variations, cause unacceptable variations between densely packed and isolated features, or exacerbate line edge roughness. Preventing byproduct accumulation also reduces particle formation and resultant defect creation.
Pages Jaunes, qui a vécu de beaux jours avec ses bottins téléphoniques, s’est recyclée de peine et de misère au fil des ans dans le numérique avec, notamment, le site Canada411.ca et DuProprio.com. Plus récemment, la compagnie a décidé de réduire ses dépenses et de recentrer ses activités afin d’améliorer sa santé financière. Dans cet esprit, Pages Jaunes a renvoyé son président et chef de la direction l'an dernier et a mis en branle, au début de l'année, un effort de consolidation qui s’est notamment soldé par la mise à pied de quelque 500 employés, soit 18 % de son personnel.
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